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1、开水泵、气源。 开总电源。 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。
2、⑨ 真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。
3、.在真空镀膜机运转正常情况下,开动真空镀膜机时,必须先开水管,工作中应随时注意水压。2.在离子轰击和蒸发时,应特别注意高压电线接头,不得触动,以防触电。3.在用电子枪镀膜时,应在钟罩外围上铝板。
4、镀膜机操作步骤 打开冷却水开关、空压机开关(空压机红色按钮向上拔为打开,向下按为关闭)和镀膜机总电源开关。将玻璃基板至于样品托中,导电一面向下,刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。
5、。装工件。2。手动开启转架至少转动一周以上,看是否有刮蹭,如果转动正常,关闭真空门。3。
6、**放入真空室**:清洁和烘烤完成后,基底和靶材需要放入真空镀膜设备的真空室中。这时,需要检查设备的密封性,以确保在镀膜过程中能够维持足够的真空度。 **抽真空**:放入真空室后,需要启动真空泵进行抽真空。