回答:
1.MOCVD是一种基于VPE的新型气相外延生长技术。
2.MOCVD是使用元素III和II的有机化合物、元素V和VI的氢化物等的薄层单晶材料。作为晶体生长源材料,通过热分解反应在衬底上气相外延生长各种III-V主族、II-VI副族化合物半导体和多元固溶体。
3.MOCVD设备一般有手动操作和微机自动控制操作两种功能。
本文到此结束,希望对大家有所帮助。