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传感器所用的元件材料是具有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅,根据晶体不受定向应力时,电导率是同性的,只有受定向应力时才表现出各向异性,由于应力能引起能带的变化,能谷能量移动,导致电阻率的变化,于是就有电阻的变化,从而产生压阻效应,单晶硅效应包括:p型
和N型硅压阻效应。选用扩散硅目的在于在设计制造压力传感器是根据不同温度下硅扩散层的压阻特性选择合适的扩散条件,力求使压力传感器具有良好的性能,多晶硅在传感器中有广泛的用途,可作为微结构和填充材料、敏感材料。
胎压传感器功能和原理:主要是用来检测胎压的传感器。在硅片的中间,从背面腐蚀形成了正方形的膜片,利用膜片将压力转换成应力,利用压阻效应将加在膜片上的应力变换成电阻的变化M胎压的输出特性。
下面我们以测量轮胎气压为例阐述传感器在汽车轮胎方面的应用。此种设计可做成一种便携式的装置,测量时将胎压传感器的表置于轮胎气门嘴上,这时胎压作用于传感器上,不同的气压对应着不同的电压值,即气压值和电压值是一一对应的,从而间接测量了气压值。
胎压值和电压值的相互转换
任何一种型号的轮胎都有其标准气压,若气压高于标准气压则为高压状态,低于标准气压则为低压状态,那么此时应采取一系列措施改变轮胎气压值在标准范围内,从而起到保护轮胎的效果。
电压信号放大电路
传感器放大电路选用高精度低噪声仪用放大器AD620。AD620是一种只用一个外部电阻就能设置放大倍数的仪表放大器,具有良好的直流性能和交流性能。
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